高通量超微量全光譜分析儀的精度業內人士通常理解為儀器的精密度,包括短期精密度和長期精密度,但對于使用者常常理解為準確度，實際兩者是可以統一的，精密度好的儀器，準確度一定能調試好，反之則不能。
 

　　高通量超微量全光譜分析儀的精密度與儀器的靈敏度關聯度非常高，一般情況高靈敏度儀器精密度也高，比如一條譜線實際光強為10lm，假設探測器靈敏則轉化為1000µA,探測器不靈敏則可能為100µA，示值就有10倍的差距，就像用米尺去測工件，誤差在毫米以上。當然還有數值處理方法和人為因素，在這里不討論。那么靈敏度與哪些因素有關呢?本文歸納以下幾點：
 

　　(1)光源的特性，其中包括光源能量、頻率特性、單火花脈沖能量、放電波形等，因此良好的光源一定是千百次對不同材料試驗調整的結果;
 

　　(2)光柵的衍射效率，光柵的制造大的特點是個體的差異性很大，少見兩塊衍射曲線*一樣的光柵，這是光柵的制造工藝決定的。高的衍射效率有效信號損失的就小，才能將更真實的信號呈現在探測器接收面;
 

　　(3)探測器的性能，一個靈敏且穩定的探測器是對信號強度真實反映的*條件。
 

　　(4)軟件數學模型，一個真實信號不僅僅是剔除背景，而是瞬態和趨勢的即時展現，尤其大數據高速采樣，已經突現軟件建模的數值計算技巧和深奧數理結合的重要性。