電漿控制電源部規格

1

尺寸（WxDxH)

370mm×450mm×150mm

詳細規格參附件

2

重量

13kg

3

需求電源

AC220V,50-60Hz,3wire單相+接地線、10A

地線＜0.5

4

電漿輸出功率

CDA：600--1000W

可使用功率視實際條件而定

5

電漿有效直徑

30-50mm

視條件及樣品而定

6

工作進氣接頭

6×8mm  Connector

連接至主氣源

7

氣體使用量

CDA:26±2L/min

視條件及樣品而定

8

氣體壓力

4.20±0./kg/cm

9

配置空間

放置在通風良好（環境溫度小于30度）的地方。保留左右及上方有150mm以上散熱的空間，保留后方有150mm的線路空間

電漿照射部規格

1

尺寸（H)

33mm×215mm

詳細規格參附件

2

重量

＜0.3kg

3

電源部-照射部距離

2.6m

其他規格

1

有效清潔范圍

75mm

視條件及樣品而定

2

處理速度

50-300mm/sec

視樣品而定

3

處理距離

與待清潔物距離4m

1

電漿需求電源

AC220v,50-60Hz,3Wire單相＋接地線，10A

地線＜0.5歐姆

2

N2/ CDA

純度：99.95%.

壓力：4.20±0../kg/cm

流量：20±2L/min

入口 PU 管管徑：6mm×4mm

氣體含油量：＜0.003ppm

氣體含水量：露點＜-23°C

3

排氣

（抽氣罩客戶自行準備）

需在電漿噴射下方及周圍設置抽風罩

一般廠務排氣，大氣排放排氣量1000L/min

電漿可能產生臭氧、NOx.、CO2等廢氣，請作好廢氣排放，避免人員暴露于廢氣環境中

4

避免干擾問題

1

警報

警示信號輸出

選配

2

危險標示

高壓危險標示

3

使用環境

室溫：  15~30°C

濕度：30%~70%

不可有可燃性氣體，腐蝕性氣體，爆炸或反應性粉塵

1

鍍鉑金銅電極

PT1000T

CDA: 500hr

南京嘉陽

2

噴嘴

CDA:PT000P

CDA：1000hr

南京嘉陽

電漿照射單元

1

1組電漿照射部(旋轉槍頭）

2

1組電漿控制電源部

3

保固期服務費用

硬件驗收

1

設備清單驗收

2

出廠合格證

3

說明書

性能驗收

1

清潔后，素玻璃水滴接觸角＜15°（@速度100mm/s,距離4）mm

穩定性測試

1

連續1小時電漿噴射測試

重復一次性能驗收

驗收日期

1

交機后1個月內必須完成驗收

清潔功能

1，目視電漿噴射狀況

2，ITO 玻璃試片測試

3、水滴角測試

日常

1次/月

其他

電極

是否破損

石英管

是否破損

氣體（鋼瓶）壓力

壓力指示是否正確

1，廠務工程

2、試片提供

以上試片，貴單位需免費提供

電漿穩定性

有肉眼觀察電漿狀態。持續時間

組裝零件穩定性

電漿經過1小時操作后，觀察電極，石英管狀況

流量測試

測試氣體流量是否正常

洗潔能力測試

貴單位試片測試（試片由貴單位提供）

(1)生產保證

由于本裝置的不合適，生產停止的損失及不良品的損失，

敝公司不得保證。

(2)安全保證

維修及問題解決時，若需以手指觸碰機臺時，請先將電源

關閉 20 分鐘以上。使用中的安全問題，本公司不得保證。

(3)瑕疪責任

關于來自貴公司的指示, 施工方法等造成的裝置瑕疪不得

保證

(4)交機后改造責任

交機后，貴公司若有對構造、性能、方式進行改變而產生

的問題，敝公司不得保證

(5)本體改造責任

交機后，貴公司對構造、性能、方式改造時，敝公司得不

保證提供問題處理及消耗品供給之責任。

(6)因為經年變化之責任

非瑕疪而產生材料的自然性損耗、變化、變色或因為經年

累月而產生的裝置問題，得不保證。

(7)無法預測的環境變化責

任

在設備所設計允許的條件(溫度、濕度、氣壓、排氣等)以

外情況下使用或存放所引發的問題，得不保證。

(8) 規定以外的氣體使用之

責任

禁止使用規定以外的氣體，允許使用的氣體如下：

CDA、N2 純度 99.95%

使用其他的氣體所引發的問題，得不保證。

Pin 1

+24V Output

供外設預備電源。  Max 100mA.

注意: 切要避免Pin 1與除接線圖指示之外的任何引線或接地體發生短路！

Pin 2

Ground

Pin 3

IN1-P

外部開關

P接正極性；N接負極性

接線方法，參考下列接線示意圖。

Pin 4

IN1-N

Pin 5

RS485-A

RS485通訊線。

暫不提供